产品简介
1.30um直径内高空间分辨率、高灵敏度分析。
2.大样品室,非破坏性分析(最大90mm直径样品)。
3.扫描区域最大50X18mm
4.TRXPS,半导体表面1X1011atoms/cm2
5.磁透镜和静电透镜组合
6.化学家台分析新型软件,分析精确度高
7.简单快速操作
产品参数
1.普通光源分辨率0.9eV1,500cps-900kcps
2.单色光源分辨率0.65eV100kcps
3.普通光源Al,600W/Mg,500W;2.5-50mA.单色光源Al,600W;2.5-50mA
4.能量搜索范围:0-1480eV,步长:0.025eV
5.真空度7 X 10-8
产品特点
1.高分辨
2.最大90mm直径样品
3.单色光X-射线源
4.三轴马达驱动台
5.离子泵、分子泵、升华泵、机械泵