主要特点
前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助硫粉蒸发,后端为双温区硫化炉,温度控制精确,操作简便。并配有气氛微调装置,可以准确的反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用,重复性好。
技术参数
硫粉预热器
| 型号:BTF-400C 工作温度:350℃ **温度:400℃ *快升温速率:30℃/min 推荐升温速率:10℃/min 控温方式:智能化30段可编程控制 工作电压:AC220 V 额定功率:800W 控温精度:±1℃ 加热元件:电阻丝 |
硫化炉 | 技术参数 额定功率(KW):3 额定电压(V):AC220v 50/60 Hz **温度(℃):1200(1 hour) 持续工作温度(℃):1100 升温速率(℃/min):≤50 炉管尺寸(mm):高纯石英管Φ50×1200mm 加热区长度(mm):440mm 恒温区长度(mm):200mm 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 控温精度(℃):±1 加热元件:电阻丝 |
供气系统GMF-3Z
| (质子流量计) 重量:35Kg 外形尺寸:600x600x650mm 连接头类型:双卡套不锈钢接头。 标准量程(N2):50sccm、200sccm、500sccm; (可根据用户要求定制) 准确度:±1.5% 线性:±0.5~1.5% 重复精度:±0.2% 响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec 工作压差范围:0.1~0.5 MPa **压力:3MPa 接口:Φ6,1/4'' 显示:4位数字显示 工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管:Φ6 压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀:Φ6 |
低真空机组VAU-02
| 空气相对湿度≤85%, 工作电电压:220V±10% 50~60HZ 功率:1千瓦 抽气速率:4L\s 极限真空:4X10-2Pa 实验真空度:1.0X10-1Pa 容油量:1.1L 进气口口径:KF25 排气口口径:KF25 转速:1450rpm 噪音:50dB 外型尺寸:600×600×600mm |